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 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 学 校 主 页 学 校 主 页 导 航 首 页 中 心 概 况 中 心 概 况 组 织 机 构 工 作 人 员 专 家 组 成 员 用 户 委 员 会 新 闻 中 心 公 告 通 知 中 心 动 态 科 研 产 出 仪 器 设 备 光 刻 镀 膜 刻 蚀 封 装 测 试 机 加 工 服 务 信 息 办 事 流 程 教 学 课 件 用 户 手 册 下 载 专 区 联 系 我 们 参 观 来 访 用 户 服 务 用 户 答 疑 预 约 系 统 公 告 通 知 M o r e 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 违 规 行 为 处 罚 通 报 2 0 2 3 1 1 0 3 洁 净 度 检 测 周 报 @ 2 0 2 3 . 1 1 . 0 1 2 0 2 3 1 1 0 1 2 0 2 3 年 1 1 月 安 全 培 训 通 知 2 0 2 3 1 0 3 1 洁 净 度 检 测 周 报 @ 2 0 2 3 . 1 0 . 2 5 2 0 2 3 1 0 2 5 洁 净 度 检 测 周 报 @ 2 0 2 3 . 1 0 . 1 8 2 0 2 3 1 0 1 9 【 技 术 交 流 】 2 0 2 3 中 科 大 · 铠 柏 科 技 超 高 真 空 镀 膜 技 术 交 . . . 2 0 2 3 1 0 1 8 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 违 规 行 为 处 罚 通 报 2 0 2 3 1 0 1 6 洁 净 度 检 测 周 报 @ 2 0 2 3 . 1 0 . 1 1 2 0 2 3 1 0 1 3 关 于 中 国 科 学 技 术 大 学 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 标 志 ( L O G O ) 征 . . . 2 0 2 3 1 0 1 0 2 0 2 3 年 1 0 月 安 全 培 训 通 知 2 0 2 3 1 0 0 7 中 心 动 态 M o r e 0 9 2 8 2 0 2 3 释 放 压 力 ， 放 松 心 情 ， 轻 松 工 作 ， 快 乐 生 活 — — 微 纳 中 心 党 支 部 联 合 中 心 群 众 开 展 心 理 座 谈 为 深 入 学 习 贯 彻 习 近 平 总 书 记 新 时 代 中 国 特 色 社 会 主 义 思 想 ， 积 极 响 应 学 校 校 风 传 承 月 号 召 ， 关 心 关 爱 各 位 老 师 的 心 理 健 康 问 题 ， 9 月 2 7 日 下 午 ， 微 纳 教 工 党 支 部 联 合 中 心 群 众 ， 前 往 西 区 同 步 辐 射 咖 啡 厅 ， 开 展 “ 释 放 压 力 ， 放 松 心 情 ， 轻 松 工 作 ， 快 乐 生 活 ” 主 题 党 日 活 动 。 活 动 伊 始 ， 主 持 人 李 伟 老 师 对 参 加 活 动 的 群 众 表 示 热 烈 欢 迎 。 他 介 绍 ， 本 期 活 动 主 要 是 在 紧 密 党 群 联 系 的 同 时 ， 可 以 为 大 家 日 常 工 作 及 生 活 中 产 生 的 压 力 及 遇 到 的 问 题 出 谋 划 策 。 紧 接 着 ， 在 场 的 老 师 集 体 观 看 了 科 学 家 精 神 微 电 影 《 月 是 故 乡 明 》 ， 电 影 通 过 钱 临 照 先 生 爱 国 爱 校 的 感 人 事 迹 ， 展 现 了 老 一 辈 科 学 家 胸 怀 报 国 之 志 、 潜 心 教 书 育 人 的 家 国 情 怀 。 大 家 纷 纷 被 钱 老 先 生 的 精 神 所 感 动 ， 并 表 示 会 在 日 后 的 工 作 及 生 活 中 积 极 担 负 起 时 代 责 任 ， 以 自 己 的 绵 薄 之 力 贡 献 社 会 。 随 后 ， 大 家 拿 好 纸 笔 围 坐 一 圈 ， 将 自 己 遇 到 的 压 力 和 问 题 写 在 纸 上 。 “ 问 题 清 单 ” 收 集 完 成 后 ， 以 “ 大 风 吹 ” 的 游 戏 方 式 选 出 每 一 轮 的 发 言 代 表 ， 随 机 抽 取 纸 条 并 给 出 解 决 方 法 。 “ 难 以 平 衡 工 作 和 家 庭 的 关 系 怎 么 办 ” “ 怎 样 合 理 安 排 工 作 事 项 ” “ 工 作 中 遇 到 一 些 问 题 会 使 自 己 心 理 失 衡 时 如 何 解 决 ” “ 通 勤 时 间 很 长 ， 需 要 做 些 什 么 打 发 路 途 耗 时 ” “ 时 间 过 得 太 快 ， 会 有 年 龄 焦 虑 怎 么 办 ” … 0 8 0 2 2 0 2 3 炎 炎 夏 日 高 温 难 阻 交 流 热 情 ， 微 纳 中 心 迎 来 参 观 来 访 热 潮 暑 期 伊 始 ， 校 园 已 初 见 宁 静 ， 树 上 的 虫 鸣 鸟 叫 诉 说 着 夏 日 三 伏 天 的 燥 热 ， 却 也 丝 毫 不 减 大 家 对 微 纳 中 心 的 参 观 热 情 ， 7 月 中 心 迎 来 一 波 又 一 波 参 观 队 伍 到 中 心 交 流 。 7 月 2 1 日 上 午 ， S A W A T E C 大 中 华 区 总 裁 、 瑞 士 S M E V e n t u s G m b H 高 级 合 伙 人 宋 春 玲 女 士 到 微 纳 中 心 参 观 交 流 。 在 中 心 副 主 任 周 成 刚 带 领 下 ， 宋 春 玲 女 士 围 绕 参 观 走 廊 了 解 中 心 发 展 历 程 及 运 营 模 式 ， 随 后 依 次 序 参 观 中 心 设 备 。 参 观 过 程 中 ， 宋 春 玲 女 士 简 单 分 享 自 己 从 大 学 老 师 进 入 制 造 业 成 为 创 业 者 的 经 历 ， 与 同 行 参 观 的 老 师 交 流 仪 器 设 备 的 使 用 感 受 ， 她 提 出 国 内 半 导 体 行 业 的 发 展 空 间 大 有 可 为 ， 希 望 能 与 相 关 领 域 间 的 企 事 业 单 位 加 强 交 流 合 作 ， 共 同 为 提 升 国 内 半 导 体 行 业 在 国 际 上 的 影 响 而 努 力 奋 斗 。 下 午 ， 中 心 迎 来 另 一 批 参 观 队 伍 。 参 加 中 国 科 学 技 术 大 学 微 电 子 学 院 夏 令 营 的 1 0 5 名 同 学 分 五 批 走 进 微 纳 中 心 ， 带 队 解 说 的 汪 林 俊 老 师 向 同 学 们 介 绍 了 实 验 室 整 体 环 境 、 动 力 条 件 、 设 备 布 局 、 工 艺 分 组 等 情 况 。 随 后 ， 同 学 们 通 过 参 观 走 廊 近 距 离 了 解 先 进 的 微 纳 加 工 设 备 与 制 造 工 艺 ， 同 学 们 纷 纷 感 慨 洁 净 室 的 明 亮 干 净 以 及 微 纳 加 工 设 备 所 能 实 现 的 先 进 功 能 。 大 到 光 刻 机 、 镀 膜 机 、 刻 蚀 机 ， 小 到 匀 胶 机 、 热 板 、 显 微 镜 等 ， 同 学 们 看 的 入 0 7 2 4 2 0 2 3 微 纳 教 工 支 部 赴 档 案 文 博 院 开 展 师 德 师 风 专 题 主 题 党 日 活 动 为 深 入 学 习 贯 彻 习 近 平 新 时 代 中 国 特 色 社 会 主 义 思 想 主 题 教 育 ， 领 悟 习 总 书 记 在 中 共 中 央 政 治 局 关 于 建 设 教 育 强 国 第 五 次 集 体 学 习 时 的 讲 话 精 神 ， 提 高 广 大 党 员 同 志 师 德 师 风 学 习 热 情 ， 更 好 的 传 承 和 弘 扬 抗 大 精 神 、 “ 两 弹 一 星 ” 精 神 和 老 一 辈 科 学 家 精 神 ， 激 发 大 家 的 责 任 感 和 使 命 感 ， 7 月 1 9 日 ， 微 纳 教 工 党 支 部 组 织 各 位 党 员 及 群 众 代 表 赴 档 案 文 博 院 开 展 主 题 党 日 党 群 联 合 活 动 。 下 午 4 点 ， 大 家 准 时 在 校 史 馆 门 前 集 合 签 到 ， 随 后 在 讲 解 员 的 带 领 下 参 观 “ 红 专 并 进 科 教 报 国 — — 中 国 科 学 院 党 员 主 题 教 育 基 地 ” 。 教 育 基 地 共 有 “ 国 运 所 系 ” “ 大 师 云 集 ” “ 春 风 化 雨 ” “ 气 象 峥 嵘 ” “ 南 迁 重 建 ” “ 敢 为 人 先 ” “ 开 泰 布 新 ” “ 创 建 一 流 ” “ 东 风 永 恒 ” “ 勇 攀 高 峰 ” 十 个 主 展 厅 ， “ 少 年 班 ” “ 师 长 厅 ” “ 校 友 厅 ” 三 个 专 题 展 ， 以 及 国 家 同 步 辐 射 实 验 室 “ 追 光 ” 特 别 展 厅 和 实 物 展 厅 。 聆 听 着 讲 解 员 的 介 绍 ， 看 着 泛 黄 的 老 照 片 及 老 物 件 ， 大 家 仿 佛 与 科 大 一 起 置 身 于 时 代 的 洪 流 中 ， 从 成 立 时 期 的 艰 难 困 苦 ， 到 科 学 家 齐 聚 一 堂 的 兴 校 伟 绩 ， 从 南 迁 的 动 荡 不 安 ， 到 永 无 止 境 、 满 怀 激 情 的 攻 坚 克 难 ， 一 代 又 一 代 的 科 大 人 ， 用 自 己 坚 定 不 移 的 爱 国 热 情 及 追 求 卓 越 的 思 想 境 界 ， 铸 就 了 科 大 独 特 的 红 色 精 神 谱 系 。 参 与 本 次 活 动 的 老 师 ， 无 不 为 老 一 辈 0 6 1 4 2 0 2 3 走 进 合 肥 高 校 行 — 宁 夏 中 卫 市 领 导 一 行 走 进 微 纳 中 心 2 0 2 3 年 6 月 1 4 日 上 午 ， 宁 夏 中 卫 市 人 大 常 委 会 副 主 任 田 风 才 、 中 卫 市 政 协 副 主 席 冯 忠 铁 、 中 卫 市 商 务 局 局 长 冯 旭 等 一 行 莅 临 微 纳 中 心 参 观 调 研 。 中 国 科 学 技 术 大 学 微 纳 中 心 副 主 任 周 成 刚 、 中 国 科 学 技 术 大 学 微 纳 中 心 主 任 助 理 汪 林 俊 陪 同 参 观 调 研 并 举 行 座 谈 会 。 周 成 刚 首 先 代 表 中 心 对 调 研 组 一 行 的 到 来 表 示 欢 迎 ， 然 后 带 调 研 组 参 观 微 纳 中 心 一 楼 洁 净 室 。 在 参 观 走 廊 内 ， 调 研 组 一 行 了 解 了 中 心 现 有 仪 器 设 备 的 基 本 情 况 ， “ 沉 浸 式 ” 观 看 了 洁 净 室 内 科 研 人 员 正 在 操 作 的 工 艺 工 序 ， 参 观 结 束 后 双 方 举 行 了 座 谈 会 。 会 上 ， 周 成 刚 简 要 介 绍 了 中 心 运 行 机 制 、 中 心 人 员 构 成 以 及 支 撑 服 务 校 内 外 用 户 等 情 况 。 调 研 组 也 以 宣 传 片 的 方 式 介 绍 了 中 卫 市 目 前 的 发 展 情 况 及 未 来 在 相 关 领 域 的 发 展 潜 力 。 周 成 刚 表 示 宁 夏 中 卫 市 企 业 宏 芯 信 息 科 技 （ 宁 夏 ） 有 限 公 司 作 为 中 心 的 用 户 之 一 ， 在 研 发 合 作 过 程 中 双 方 都 积 极 沟 通 ， 共 同 努 力 ， 合 作 十 分 愉 快 。 中 心 欢 迎 中 卫 市 更 多 的 相 关 领 域 企 事 业 单 位 与 我 们 开 展 长 足 性 的 合 作 ， 中 心 愿 意 为 中 卫 市 相 关 领 域 的 发 展 提 供 完 善 的 支 撑 服 务 。 0 5 3 1 2 0 2 3 二 次 离 子 质 谱 试 运 行 通 知 中 国 科 学 技 术 大 学 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 的 二 次 离 子 质 谱 目 前 已 安 装 调 试 完 毕 ， 现 投 入 试 运 行 。 此 台 I M S 7 F A u t o 型 动 态 二 次 离 子 质 谱 是 法 国 C A M E C A 公 司 的 经 典 产 品 ， 主 要 用 于 真 空 兼 容 性 的 固 体 平 面 样 品 的 元 素 分 析 ， 其 氧 源 和 铯 源 可 以 实 现 全 元 素 的 测 量 ， 冲 击 能 可 达 1 5 k e V ， 质 量 分 辨 率 可 高 达 2 0 0 0 0 ， 具 有 优 越 的 元 素 检 出 限 ， 具 备 同 位 素 检 测 功 能 。 配 备 的 电 子 枪 和 液 氮 捕 集 器 可 以 实 现 绝 缘 样 品 的 测 量 与 大 气 元 素 的 测 量 。 设 备 主 要 功 能 1 ． 深 度 分 析 一 次 束 在 一 个 微 区 内 均 匀 扫 描 , 把 样 品 表 面 均 匀 地 层 层 剥 离 , 随 着 扫 描 时 间 的 增 加 , 溅 射 坑 越 来 越 深 。 探 测 特 定 元 素 二 次 离 子 产 额 随 溅 射 时 间 的 变 化 曲 线 , 可 以 得 到 该 元 素 在 样 品 中 的 深 度 分 布 。 2 ． 离 子 图 像 采 用 聚 焦 一 次 离 子 束 扫 描 样 品 表 面 ， 获 得 某 种 元 素 在 样 品 微 区 中 的 分 布 图 形 ， 可 实 现 亚 微 米 解 析 度 。 图 像 中 不 同 的 浓 度 用 不 同 颜 色 表 示 , 非 常 直 观 。 部 分 样 品 测 试 数 据 硅 中 注 入 砷 的 深 度 分 析 硅 中 注 入 氢 的 深 度 分 析 S i O 2 / S i 的 深 度 分 析 S i T a 网 格 的 离 子 图 像 主 要 应 用 掺 杂 和 杂 质 深 度 剖 析 、 薄 膜 的 组 分 测 量 、 离 子 注 入 深 度 分 析 、 轻 质 元 素 分 析 、 器 件 失 效 分 析 等 。 送 样 要 求 用 户 需 提 供 信 息 ： 样 品 基 体 材 料 、 样 品 尺 寸 、 待 测 元 素 、 样 品 制 备 科 研 产 出 M o r e 1 0 0 9 2 0 2 3 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 支 撑 项 目 科 研 成 果 简 报 ( 2 0 2 3 年 第 三 季 度 ） 0 9 1 4 2 0 2 3 【 用 户 科 研 进 展 】 中 心 用 户 在 全 氧 化 物 人 工 反 铁 磁 体 的 磁 电 阻 研 究 中 取 得 新 的 进 展 0 9 1 4 2 0 2 3 【 用 户 科 研 进 展 】 中 心 用 户 在 基 于 微 结 构 探 测 器 的 中 子 探 测 研 究 中 取 得 新 的 进 展 0 7 0 7 2 0 2 3 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 支 撑 项 目 科 研 成 果 简 报 ( 2 0 2 3 年 第 二 季 度 ） 0 4 1 3 2 0 2 3 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 支 撑 项 目 科 研 成 果 简 报 ( 2 0 2 3 年 第 一 季 度 ） 0 4 1 1 2 0 2 3 【 用 户 科 研 进 展 】 中 国 科 大 开 发 出 镧 系 金 属 卤 化 物 基 固 态 电 解 质 新 家 族 洁 净 度 检 测 周 报 M o r e 地 址 ： 安 徽 省 合 肥 市 中 国 科 学 技 术 大 学 西 区 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 C o p y r i g h t 中 国 科 学 技 术 大 学 微 纳 研 究 与 制 造 中 心 版 权 所 有 友 情 链 接 公 共 实 验 中 心

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